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Design, fabrication and characterization of a high-speed, bimodal, CMOS-MEMS resonant scanner driven by temperature-gradient actuators

dc.contributor.authorCamacho León, Sergio
dc.creatorCAMACHO LEON, SERGIO; 213140es_MX
dc.date.accessioned2015-08-17T11:34:14Zen
dc.date.available2015-08-17T11:34:14Zen
dc.date.issued2010-05-01
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11285/572517en
dc.format.mediumTextoes_MX
dc.language.isoeng
dc.publisherInstituto Tecnológico y de Estudios Superiores de Monterrey
dc.relation.isFormatOfversión publicadaes_MX
dc.relation.isreferencedbyREPOSITORIO NACIONAL CONACYT
dc.rightsopenAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0*
dc.subject.classificationINGENIERÍA Y TECNOLOGÍA; CIENCIAS TECNOLÓGICAS; TECNOLOGÍA DE LA INSTRUMENTACIÓN; INSTRUMENTOS DE MEDIDA DE LA TEMPERATURAes_MX
dc.subject.lcshTecnología / Technology
dc.subject.lcshTheory and practice of education--Higher education—Preparation of theseses_MX
dc.titleDesign, fabrication and characterization of a high-speed, bimodal, CMOS-MEMS resonant scanner driven by temperature-gradient actuators
dc.typeTesis Doctorado / doctoral Thesis
dc.contributor.departmentTecnológico de Monterrey, Campus Monterreyen
dc.audience.educationlevelInvestigadores/Researchers
refterms.dateFOA2018-03-19T21:38:38Z
refterms.dateFOA2018-03-19T21:38:38Z
dc.identificator7
dc.identificator33
dc.identificator3311
dc.identificator331116


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