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Estudio estructural de películas delgadas de nitruro de aluminio (AIN) policristalino

dc.contributorMartínez Sandoval, Elsa
dc.contributorPonce Pedraza, Arturo
dc.contributorCastro Sánchez, Romina
dc.contributorElsa Martínez Sandoval
dc.contributorArturo Ponce Pedraza
dc.contributorRomina Castro Sánchez
dc.creatorDafne Judith Ponce Parra:3176470
dc.creatorDAFNE JUDITH PONCE PARRA:3176470es
dc.date.accessioned2018-05-10T15:04:39Z
dc.date.available2018-05-10T15:04:39Z
dc.date.issued2006
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11285/629564
dc.languagespa
dc.publisherInstituto Tecnológico y de Estudios Superiores de Monterrey
dc.relationInvestigadores
dc.relationEstudiantes
dc.relation.isFormatOfversión publicada
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0*
dc.subjectNitruros
dc.subjectDispositivos electroacústicos
dc.subjectSemiconductores
dc.subject.classification7 INGENIERÍA Y TECNOLOGÍA
dc.titleEstudio estructural de películas delgadas de nitruro de aluminio (AIN) policristalino
dc.typeTrabajo de grado, licenciatura
thesis.degree.levelIngeniería Mecatrónica
thesis.degree.disciplineDepartamento de Mecatrónica
thesis.degree.programCampus Ciudad de México
refterms.dateFOA2018-05-10T15:04:39Z


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